通常為驗證零件清潔度會(huì )使用光學(xué)系統對濾膜進(jìn)行全自動(dòng)分析。顆粒物數量尺寸檢測、測量和分類(lèi)很大程度上取決于鏡頭（即放大率和分辨率）、照明類(lèi)型（例如偏振、明場(chǎng)或暗場(chǎng)）、圖像處理軟件中使用的閾值以及顆粒物特性（尺寸、成分、反射率等）。因此，在比較相同類(lèi)型顆粒的結果時(shí)，光學(xué)系統和分析參數必須相同。
標準光學(xué)分析
為了提供有意義的比較，建議進(jìn)行標準光學(xué)分析。標準光學(xué)分析中，在確定規范之前定義圖像設置和分析過(guò)程，因此與使用的系統無(wú)關(guān)。
顆粒物的檢測和測量
測量的精度主要由顯微鏡鏡頭的放大倍率和分辨率決定。更高的放大倍率可以提高精度，但也會(huì )降低景深。因此，當在高放大倍率下測量小顆粒時(shí)，垂直方向的電動(dòng)平臺系統可以補償低景深和過(guò)濾器表面的不規則性。使用高放大倍率還需要分析大量圖像，以便全面檢查濾光片。因此，必須在測量精度和處理/分析時(shí)間之間找到平衡點(diǎn)。
此外，為了準確地確定尺寸和范圍，顆粒應均勻分布在濾膜表面上而沒(méi)有重疊，并以顆粒物所占的表面百分比來(lái)報告。
偏光片
交叉偏振器可用于消除金屬顆粒的反射，在這種情況下，金屬顆粒在明亮的背景上會(huì )顯得很暗。如果不使用偏光片，當亮區的亮度與背景濾光片的亮度相似時(shí)，就有可能將亮區和暗區的顆粒分成幾個(gè)顆粒。不使用偏光片時(shí)，非常接近的顆粒也可能會(huì )出現大小和形狀的變形，因為當它們靠近在一起時(shí)，相鄰的顆?？赡芸雌饋?lái)很相似，類(lèi)似于一個(gè)更大的顆粒。
纖維
纖維在制造過(guò)程中也是一個(gè)常見(jiàn)問(wèn)題，但紡織纖維（例如來(lái)自服裝的纖維）的潛在破壞性弱于纖維狀顆粒物，因此應將這些類(lèi)型相互區分開(kāi)來(lái)。通常，細長(cháng)長(cháng)度與最大內徑之比大于20且內徑小于50 µm的顆粒會(huì )被認為是纖維。
金屬顆粒
金屬顆粒是組件上最常見(jiàn)的污染物之一，由于其機械和電氣特性，它們對許多應用具有高危害性。由于光學(xué)外觀(guān)的變化，基本標準光學(xué)方法無(wú)法可靠地識別金屬顆粒，需要使用擴展分析方法。
然而，可以使用非偏振光學(xué)系統進(jìn)行第一次表征，通過(guò)其閃亮外觀(guān)（直方圖強度值接近白色的強度值的反射）識別金屬顆粒?？梢詧绦凶詣?dòng)分析以確定閃亮顆粒是否為金屬，但只有在系統參數（鏡頭類(lèi)型、放大倍率、其他參數設置等）和顆粒特征（顏色、粗糙度、均勻性等）相同時(shí)才能比較結果。如果滿(mǎn)足以下兩個(gè)要求，則可以使用此方法：
通過(guò)已使用的參數設置確定顆粒具有金屬光澤，但可能需要事*行擴展分析加以證明。
由專(zhuān)業(yè)的操作員目視確認自動(dòng)表征結果。
